MEMS சென்சார் வேலை மற்றும் அதன் பயன்பாடுகள்

MEMS என்ற சொல் மைக்ரோ-எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் அமைப்புகளைக் குறிக்கிறது. இவை சாதனங்களின் தொகுப்பாகும், மேலும் இந்த சாதனங்களின் தன்மையை அவற்றின் சிறிய அளவு மற்றும் வடிவமைத்தல் பயன்முறையால் செய்ய முடியும். இந்த சென்சார்களின் வடிவமைப்பை 1- 100-மைக்ரோமீட்டர் மூலம் செய்ய முடியும் கூறுகள் . இந்த சாதனங்கள் சிறிய கட்டமைப்புகளிலிருந்து மிகவும் கடினமான எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் அமைப்புகளுக்கு வேறுபடலாம், அவை ஒருங்கிணைந்த மைக்ரோ-எலக்ட்ரானிக்ஸ் கட்டுப்பாட்டின் கீழ் பல நகரும் கூறுகளைக் கொண்டுள்ளன. வழக்கமாக, இந்த சென்சார்களில் ஒரு தொகுப்பில் மெக்கானிக்கல் மைக்ரோ ஆக்சுவேட்டர்கள், மைக்ரோ ஸ்ட்ரக்சர்கள், மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் மைக்ரோ சென்சார்கள் அடங்கும். இந்த கட்டுரை MEMS சென்சார், செயல்படும் கொள்கை, நன்மைகள் மற்றும் அதன் பயன்பாடுகள் என்ன என்பதை விவாதிக்கிறது

MEMS சென்சார் என்றால் என்ன?

MEMS குறைந்த விலை மற்றும் அதிக துல்லியத்தன்மை கொண்ட செயலற்ற உணரிகள் மற்றும் இவை விரிவான தொழில்துறை பயன்பாடுகளுக்கு சேவை செய்ய பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த சென்சார் மைக்ரோ-எலக்ட்ரோ-மெக்கானிக்கல்-சிஸ்டம் என்ற சிப் அடிப்படையிலான தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது. இவை சென்சார்கள் அழுத்தம் போன்ற வெளிப்புற தூண்டுதலைக் கண்டறிவதற்கும் அளவிடுவதற்கும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அதன் பிறகு சில இயந்திர செயல்களின் உதவியுடன் அழுத்தத்தை அளவிடும் அழுத்தத்திற்கு இது பதிலளிக்கிறது. இதற்கு சிறந்த எடுத்துக்காட்டுகள் முக்கியமாக அழுத்தம் மாற்றத்தை ஈடுசெய்ய ஒரு மோட்டாரை சுழற்றுவது.

தி MEMS IC புனைகதை சிலிக்கான் மூலம் செய்ய முடியும், இதன் மூலம் லேசான பொருள் அடுக்குகள் இல்லையெனில் ஒரு Si மூலக்கூறு மீது சரி செய்யப்படும். அதன்பிறகு உதரவிதானங்கள், விட்டங்கள், நெம்புகோல்கள், நீரூற்றுகள் மற்றும் கியர்கள் போன்ற நுண்ணிய 3D கட்டமைப்புகளை விட்டு வெளியேறத் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டன.

mems-ic

MEMS புனையலுக்கு ஆக்ஸிஜனேற்ற செயல்முறை, பரவல் செயல்முறை, அயன் பொருத்துதல் செயல்முறை, குறைந்த அழுத்த இரசாயன நீராவி படிவு செயல்முறை, துளையிடல் போன்ற பிற குறைக்கடத்தி சுற்றுகளை உருவாக்கப் பயன்படுத்தப்படும் பல நுட்பங்கள் தேவைப்படுகின்றன. கூடுதலாக, இந்த சென்சார்கள் மைக்ரோமச்சினிங் போன்ற ஒரு குறிப்பிட்ட செயல்முறையைப் பயன்படுத்துகின்றன.

MEMS சென்சார் செயல்படும் கொள்கை

சாய்வு MEMS சென்சாருக்குப் பயன்படுத்தப்படும் போதெல்லாம், ஒரு சீரான நிறை மின் ஆற்றலுக்குள் ஒரு வித்தியாசத்தை ஏற்படுத்துகிறது. கொள்ளளவுக்குள் ஏற்படும் மாற்றம் போல இதை அளவிட முடியும். டிஜிட்டல், 4-20 எம்ஏ அல்லது விடிசியில் நிலையான வெளியீட்டு சமிக்ஞையை உருவாக்க அந்த சமிக்ஞையை மாற்றலாம்.

இந்த சென்சார்கள் சில பயன்பாடுகளுக்கு சிறந்த தீர்வுகள், அவை தொழில்துறை ஆட்டோமேஷன், நிலை கட்டுப்பாடு, ரோல் மற்றும் சுருதி அளவீட்டு மற்றும் இயங்குதள அளவிடுதல் போன்ற அதிகபட்ச துல்லியத்தை கோரவில்லை.

MEMS வகைகள்

MEMS சென்சார்களின் பொதுவான வகைகள் சந்தையில் பெறக்கூடியவை

• MEMS முடுக்கமானிகள்
• MEMS கைரோஸ்கோப்புகள்
• MEMS அழுத்தம் உணரிகள்
• MEMS காந்தப்புல உணரிகள்

MEMS நன்மைகள்

MEMS சென்சாரின் நன்மைகள் பின்வருவனவற்றை உள்ளடக்குகின்றன.

• MEMS இன் உற்பத்தி குறைந்த விலை வெகுஜன கண்டுபிடிப்பு போன்ற குறைக்கடத்தி IC உற்பத்தி ஆகும், MEMS சாதனங்களுக்கும் நிலைத்தன்மை அவசியம்.
• சென்சார் துணை-கூறுகளின் அளவு 1 முதல் 100 மைக்ரோமீட்டர் வரம்பிற்குள் இருக்கும், அதே போல் MEMS சாதன அளவு 20 மைக்ரோ மீட்டரை ஒரு மில்லிமீட்டர் வரம்பில் தீர்மானிக்கும்.
• மின் நுகர்வு மிகவும் குறைவு.
• அமைப்புகளில் இணைக்க அல்லது மாற்ற எளிதானது
• வெப்ப மாறிலி சிறியது
• இவை அதிர்ச்சி, கதிர்வீச்சு மற்றும் அதிர்வு ஆகியவற்றை மிகவும் எதிர்க்கும்.
• சிறந்த வெப்ப வளர்ச்சி சகிப்புத்தன்மை
• இணையானது

MEMS இன் பயன்பாடுகள்

MEMS சென்சார்கள் வெவ்வேறு களங்களில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன தானியங்கி , நுகர்வோர், தொழில்துறை, இராணுவம், உயிரி தொழில்நுட்பம், விண்வெளி ஆய்வு மற்றும் வணிக நோக்கங்களுக்காக இன்க்ஜெட் அச்சுப்பொறிகள், நவீன கார்களுக்குள் முடுக்க மானிகள், நுகர்வோர் மின்னணுவியல், தனிப்பட்ட கணினிகளில் போன்றவை அடங்கும்.

MEMS சாதனங்களின் சிறந்த எடுத்துக்காட்டுகள் முக்கியமாக தகவமைப்பு ஒளியியல், ஆப்டிகல் குறுக்கு இணைப்புகள், ஏர்பேக் ஆகியவை அடங்கும் முடுக்கமானிகள் , டி.வி மற்றும் டிஸ்ப்ளேக்களுக்கான கண்ணாடி வரிசைகள், திருடக்கூடிய மைக்ரோ மிரர்கள், ஆர்.எஃப் எம்இஎம்எஸ் சாதனங்கள், மீண்டும் பயன்படுத்தக்கூடிய மருத்துவ சாதனங்கள் போன்றவை.

எனவே, இது எல்லாவற்றையும் பற்றியது MEMS சென்சார் . இந்த சென்சார்களின் முக்கிய தீமை என்னவென்றால், ஒவ்வொரு பகுதிக்கும் தயாரிக்கும் செலவு மிகவும் குறைவாக இருந்தாலும். ஆனால் MEMS- அடிப்படையிலான தயாரிப்பை வடிவமைத்தல், உற்பத்தி செய்தல் மற்றும் அடுத்தடுத்த போது ஒரு பெரிய முதலீடு தொடர்புடையது. இதன் விளைவாக, வடிவமைப்பாளர்கள் குறைந்த அளவு பயன்பாடுகளுக்கான கூறுகளை விரிவாக்க வாய்ப்பில்லை. உங்களுக்கான கேள்வி இங்கே, MEMS சாதனங்களின் வகைகள் யாவை?